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JM540BD明暗场金相显微镜(半导体晶圆/PCB切片检测)

JM540BD明暗场金相显微镜(半导体晶圆/PCB切片检测)

JM540BD 研究级明暗场金相显微镜采用无限远半复消光学系统,集成落射与透射双照明,标配明场、暗场、偏光,可升级 DIC 微分干涉。适用于半导体晶圆、FPD 面板、PCB 线路板切片、金属金相试样与高···

产品内容介绍


产品概述:

JM540BD研究级材料检测显微镜,是一款高端研究级明暗场半复消金相显微镜,搭载无限远半复消光学体系,集成落射、透射双光路照明,标配明场、暗场、偏光、可升级DIC 微分干涉等多重观测模式,专为精密工业材料微观检测打造。整机适配半导体晶圆、FPD面板、PCB 线路板切片、金属金相试样、高分子复合材料、导电粒子等各类样品分析,选配相机可同步完成尺寸测量、微观形貌观测、晶体组织判定、表面高低差浮雕成像。

 

性能特点:

◆无限远半复消光学系统,成像通透

普通消色差物镜在大倍率下容易出现边缘模糊与色差。JM540BD标配半复消校正物镜,对球差、色差、场曲进行完善校正,明暗场成像通透锐利,视场边缘无明显畸变,满足研究级高精度成像要求,长时间观察眼睛不易疲劳。


◆落射+透射双照明,一台覆盖两类样品

落射光用于观察金属、芯片、PCB 等不透光固体样品;透射光适配薄膜、薄片、透明高分子材料。两套光路独立设计、互不干扰,一台设备覆盖两类样品的检测需求,不用额外添置机型。

 

◆明场/暗场/偏光标配,可升级 DIC

标配明场与暗场两种基础观测模式,内置整套偏振光学组件。加装DIC微分干涉棱镜后,可利用相位差呈现样品表面的微小高低差浮雕效果,导电粒子、细微划痕、微观台阶的成像对比度显著提升。

 

◆360°旋转检偏,切换角度不挪样品

检偏器支持360°自由旋转,观察时无需移动样品即可连续切换偏振角度,直接观察晶体、薄膜、镀层的光学各向异性,避免因样品移位影响测量精度。

 

◆模块化插板式设计,按需扩展

光路采用插板式组件结构,起偏镜、检偏镜、DIC 棱镜均可快速拆装,后期可根据检测需求灵活选配功能模块,设备不会因为功能升级而被淘汰。

 

◆工业机身,适合长期批量作业

机身机械结构精密顺滑,光路密封防尘,适配实验室科研与工厂产线批量抽检。成像一致性稳定,长期使用不易出现光衰与对焦偏移。

 

适用场景:

半导体与显示

用于晶圆表面缺陷、导电粒子、FPD 面板微观结构观察。明暗场结合可清晰呈现颗粒与表面起伏,满足来料检验与失效分析需求。

 

电子制造

适用于 PCB 线路板切片、焊点、镀层厚度分析。长工作距物镜可直接观察较厚的镶嵌试样,配合测量软件可完成镀层厚度定量分析。

 

金属材料

用于晶粒度评定、夹杂物观察、镀层与涂层检测。暗场模式下可清晰分辨非金属夹杂物,是冶金与机械行业质检的常用配置。

 

常见问题

Q:明场和暗场怎么切换?需要换物镜吗?

A:不需要。通过反射照明器上的明暗场切换模块操作,切换后重新对焦即可,物镜可以复用。

 

Q:能拍照并自动测量吗?

A:可以。选配 1200 万或 2000 万像素工业相机,配合图像处理软件可实现拍照、录像、尺寸测量、实时图像拼接与景深融合。

 

Q:JM540BD 和 JM430 有什么区别?

A:JM540BD 为明暗场机型,标配暗场与偏光并支持 DIC 升级,适合对表面缺陷和晶体组织有分析需求的场景;JM430 为基础明场机型,更适合常规组织观察,预算也更友好。

 

Q:支持定制选配吗?交期多久?

A:支持按检测场景定制配置(物镜倍数、相机像素、软件模块等)。常规配置现货供应,特殊选配请致电 13338661226 确认交期。

 

可升级的选购附件

 物镜 | 100X NA0.90 WD1.0 高倍物镜,用于观察微米级细节

干涉组件 | DIC 微分干涉板,用于呈现表面微小高低差

工业相机 | 1200万 / 2000万像素,用于拍照、录像与测量

图像分析软件 | 支持拍照、录像、测量、实时拼接、景深融合

标尺 | 高精度测微尺,格值 0.01mm,总长 1mm

制样设备 | 可搭配切割机、镶嵌机、磨抛机,组成完整金相制样方案

 

装箱清单

1、JM540BD 金相显微镜主机

2、无限远长工作距明暗场半复消物镜 × 4(5X/10X/20X/50X)

3、高眼点大视野目镜 PL10X/23mm × 2

4、起偏镜插板、检偏镜插板

5、0.65X 专用摄像接口

6、防尘罩与电源线

7、说明书与保修卡

 

◆ 技术参数:

平场目镜

高眼点大视野目镜PL10X23mm

物镜

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜5X  NA0.15 WD15

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜10X NA0.30 WD8.4

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜20X NA0.40 WD11.9

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜50X NA0.75 WD3.0

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜100X NA0.90 WD1.0(选购)

光学放大倍数

50X-500X(选购100倍物镜后放大倍数50-1000)

数码放大倍数

150-3000X(搭配1200万相机及100倍物镜,显示器22英寸情况下) 

观察头

铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0

转换器

5孔明场物镜转换器(带DIC插槽).

调焦机构

透反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能

载物台

平台面积 310*240mm,移动行程:150mmX100mm机械平台,X、Y方向同轴调节;

偏光组件

起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

反射照明系统

明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽,5W可调LED灯室,预定中心

透射照明系统

5W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心

聚光镜

摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9)

摄像接口

0.65倍专用摄像接口

干涉组件

微分干涉板(选购)

显微镜工业相机

高清1200万显微相机 或2000万像素 (选购)

图像处理软件

拍照,录像,测量,实时图像拼接,景深融合等(选购)

标尺

高精度型测微尺,格值0.01m 总长1mm(选购)


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